
Zwei-Farben-Detektor
Zwei-Farben-Detektoren für die präzise Temperaturmessung bei der Waferbearbeitung
Wenn Sie schon einmal in einer Fertigungshalle gearbeitet haben, um die schnelle thermische Verarbeitung (RTP) oder CVD zu steuern, kennen Sie den Albtraum der “driftenden” Temperaturen. Sie wählen